飛納掃描電鏡(Field-Emission Scanning Electron Microscope，簡稱FE-SEM)是一種使用電子束顯微鏡技術的儀器。它利用電子束與樣品相互作用產生的像素級探測信號，對樣品進行高分辨率、高放大倍數的觀察和分析。主要分為三個關鍵環(huán)節(jié)：電子源、電子束形成和探測系統(tǒng)。
電子源是飛納電子槍，其結構由鎢絲和陽極構成。在高溫下，鎢絲上的電子會被加熱到足夠高的能量，使電子克服鎢絲表面電子層的束縛，從而產生豐富的電子。
通過電子透鏡系統(tǒng)對電子束進行聚焦和調制，使得電子束得到形態(tài)和強度。電子透鏡系統(tǒng)通常由多個電磁場透鏡和電偶極透鏡組成，能夠控制電子束的發(fā)射電流、聚焦和調制等參數。通過調節(jié)透鏡的參數，可以獲得所需的電子束直徑和掃描速度。
飛納掃描電鏡使用法拉第杯(或稱二次電子檢測器)作為探測器。當電子束照射到樣品表面時，樣品與電子產生相互作用，其中包括二次電子的發(fā)射。這些二次電子在電場的作用下被加速并收集到法拉第杯中。根據二次電子的產生位置和數量，通過收集的信號可以生成最終的圖像。
飛納掃描電鏡的應用：
1.材料科學：觀察材料的表面形貌、晶體結構、納米顆粒等微觀結構，對材料的組成和性質進行研究。
2.生物科學：應用于生物領域，可以觀察生物細胞、組織和微生物等微觀結構，研究生物過程和生物材料的性質。
3.半導體工業(yè)：觀察和評估半導體器件的制造質量，同時可以進行故障分析和故障定位。
4.納米技術：觀察納米顆粒、納米結構和納米材料的性質和形貌，對納米技術的研究和應用提供支持。
