掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,并由照相機拍照記錄,顯像管有兩個,一個用來觀察,分辨率較低;另一個用來照相記錄,分辨率較高。
顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描,并且這種掃描運動與樣品表面的電子束的掃描運動嚴(yán)格同步,這樣即獲得襯度與所接收信號強度相對應(yīng)的掃描電子像,這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分,而且比較柔軟,因此,在進行電鏡觀察前,要對樣品作相應(yīng)的處理,主要要求是使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好,沒有變形和污染,樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能。
電鏡的真空系統(tǒng)由機械泵與油擴散泵組成,其作用是使鏡筒內(nèi)達到真空度,電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。
和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點:
(一)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。
(四) 景深大,圖象富有立體感。景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
(七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。