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如何使用掃描電鏡獲取*的陶瓷類樣品圖像?飛納電鏡與你一起,多角度分析這個問題。
(a)
(b)
圖1 同類陶瓷相同電壓不同電流的對比
(a)10kV 電流Low 放大倍數(shù)500×
(b)10kV 電流Image 放大倍數(shù)350×
圖1顯示了同一類樣品在相同電壓、不同電流模式下的對比圖??梢钥闯觯S著電流的增加圖像的細膩度增加,信噪比增加,圖像質(zhì)量上升了。這主要是由于相同加速電壓下,當增加電子束電流之后,有更多的電子跟樣品發(fā)生相互作用,電子束在單像素停留時,有更多電子和樣品發(fā)生相互作用,探頭接受了更多的BSD信號;另一方面,圖像中單像素范圍內(nèi)電子束與樣品的相互作用范圍增大,相鄰像素的電子束作用范圍重合度增加,這樣一來單像素的灰度值與鄰近像素的灰度值更趨于接近,灰度變化曲線的平滑性更好,給人一種細膩的視覺感受。對應(yīng)的劣勢也很明顯,增加電流之后,電子束變粗,分辨率略有下降。
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