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掃描電鏡之EDX能譜分析的介紹

 發(fā)布時間:2017/12/5 點擊量:2781
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詳細介紹:

掃描電子顯微鏡(SEM)利用電子束從納米尺度的樣品中獲取信息。所檢測到的主要信號類型是背散射電子(BSE)和二次電子(SE),它們在高倍率下生成樣品的灰度圖像。然而,還有許多其他的電子與樣品表面物質(zhì)相互作用的產(chǎn)物——這些信號可以提供關(guān)于樣品的額外信息。在這篇博客中,我們將闡述掃描電鏡中的能譜(EDX)是如何工作的。

 

電子 —— 與樣品表面的相互作用

 

入射電子與樣品表面的物質(zhì)相互作用產(chǎn)生了各種各樣的信號,這些信號攜帶了關(guān)于樣品的不同信息 (圖1)。例如,背散射電子產(chǎn)生的圖像與原子序數(shù)的差異有關(guān); 二次電子給出了形貌細節(jié)信息,陰極發(fā)光可以提供關(guān)于電子結(jié)構(gòu)和材料化學成分的信息; 透射電子可以描述樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和晶體學。在掃描電鏡中廣泛使用的另一種信號是X射線。

 

圖1:電子物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生不同信號的例證。

 

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