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分辨率和放大倍數(shù),很容易被認(rèn)為是考量掃描電子顯微鏡是否的一個(gè)硬性指標(biāo),這使得很多用戶在購買電鏡時(shí)往往只注重參數(shù)。但隨著技術(shù)的成熟,各家儀器的極限分辨率都是大同小異的,并且在標(biāo)準(zhǔn)樣品下很容易實(shí)現(xiàn)。這也是很多用戶頭疼的問題:我在買設(shè)備之前,考察儀器參數(shù)都是非常的;安裝驗(yàn)收時(shí),也能達(dá)到預(yù)期指標(biāo);但是,為什么日常使用的時(shí)候,效果經(jīng)常差強(qiáng)人意呢?
分辨率是在一定的條件下對應(yīng)一定的樣品下實(shí)現(xiàn)的,比如3nm@30kv,一般都是需要對金顆粒的樣品進(jìn)行測量,但大部分樣品沒有金顆粒這么好;并且有很大一部分樣品是經(jīng)受不起30kv高壓的,這就與設(shè)備的加速電壓有著很大的關(guān)系,尤其是低加速電壓下的分辨率,成為現(xiàn)階段考驗(yàn)一臺電鏡的核心指標(biāo)。
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