今天,掃描電鏡已經(jīng)成為材料科學、微電子、冶金、地質(zhì)等學科不可少的表征手段。從金屬到聚合物,從結(jié)構(gòu)件到納米顆粒,從微電子器件到礦石,從永磁材料到軟磁材料……
各大高校、科研院所的電鏡實驗室每天都會面對各類樣品,而對于表征結(jié)果的要求也越來越高。這就要求掃描電鏡不僅要有高標稱分辨率,還要在面對不導電、不耐輻照、不平整、帶磁性等等的疑難樣品時,依舊能夠獲取高質(zhì)量成像結(jié)果。
掃描電鏡的優(yōu)點:
1.有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);
2.有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu);
3.試樣制備簡單。
高分辨率臺式掃描電鏡,第六代 Phenom Pro 是一款使用高亮度 CeB6 燈絲的高分辨臺式掃描電鏡。放大倍數(shù) 350,000 倍,用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)?;诟吡炼?nbsp;CeB6 燈絲和全新的聚焦系統(tǒng),Phenom Pro 的分辨率輕松達到 6 nm,同時具有全自動操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點。
產(chǎn)品參數(shù)
1.光學顯微鏡:放大 20-135 倍
2.電子顯微鏡:350,000 倍
3.探測器:高靈敏度四分割背散射電子探測器
4.燈絲材料:1,500 小時 CeB6 燈絲
5.分辨率:優(yōu)于 6 nm
6.放置環(huán)境:采用專業(yè)防震設計,可擺放于普通實驗室或辦公室、廠房
7.加速電壓:5kV-15kV 連續(xù)可調(diào)
8.抽真空時間:小于 15 秒
Phenom Pro 后期可升級為同時具備顯微圖像和元素成分分析的電鏡能譜一體機 Phenom ProX。Phenom Pro 可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。