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 掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。掃描電子顯微鏡由電子光學系統(tǒng)，信號收集及顯示系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。

 環(huán)境適應性高，*防震 Phenom（飛納）可以放置在幾乎所有的室內環(huán)境當中，無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對一體化的設計，震動不會引起三者間的相對運動，使 Phenom 成像不受震動影響，可放置在較高樓層。

 臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜，zui大放大倍數在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測量不導電樣品等優(yōu)勢。此類新型儀器的出現(xiàn)*光學顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫(yī)學、紡織纖維、地質科學等諸多領域。

　臺式掃描電鏡價格便宜也有優(yōu)點，優(yōu)點是

①有較高的放大倍數，20-20萬倍之間連續(xù)可調；

②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；

③試樣制備簡單。

　目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。